Группа «Научное и технологическое оборудование» (бренд SemiTEq) — одна из портфельных компаний «Роснано» — выпустила обновленную систему электронно-лучевого напыления STE EB71. Это модернизированная версия шлюзовой сверхвысоковакуумной системы электронно-лучевого напыления, которая была создана специалистами компании в 2008 году. Разработка используется при производстве приборов микро- и оптоэлектроники.
«Целый ряд успешных инсталляций за последние 7 лет продемонстрировал эффективность данной для решения задач, требующих глубокого предпроцессного вакуума. По результатам технологической эксплуатации STE EB71 в конструкцию был внесен ряд доработок, которые позволили расширить технологические возможности установки, а также существенно улучшить удобство эксплуатации и технического обслуживания», — пояснили в НТО.
В частности, расстояние от мишени до подложки было увеличено до 500 мм, чтобы снизить воздействие процесса напыления металлов на электронные резисты. Рабочую высоту обслуживания специалисты НТО снизили на 180 мм. Доступ для монтажа и обслуживания ионного источника был максимально упрощен, а параллельно расширены возможности программы автоматического управления процессом напыления.
Компания НТО разрабатывает и поставляет оборудование вместе с базовыми технологическими процессами, которые позволяют реализовать концепцию быстрого технологического запуска на предприятии.