Физики и инженеры-электронщики из Физического института им. П. Н. Лебедева РАН (ФИАН) и конструкторы из ООО «Институт рентгеновской оптики» (ИРО) совместно создали многоволновой рентгеновский рефлектометр для диагностики наноструктур. Разработка оказалась удачной и оправдала себя, начинается изготовление второго коммерческого образца установки.
Рентгеновская рефлектометрия применяется для бесконтактной неразрушающей диагностики слоистых тонкопленочных наноструктур. Этот метод позволяет определить толщину слоев пленок нанометровой толщины или шероховатость поверхностей, период многослойных наноструктур и диффузионное размытие внутренних границ раздела.
Разработка ФИАН совместно с ИРО - многоволновой рефлектометр «X-Ray MiniLab-N» (N - количество исходно возможных аналитических функций). По сравнению с существующими одноволновыми рефлектометрами многоволновой рефлектометр «X-Ray MiniLab-N» имеет более высокие метрологические характеристики, впервые позволяет проводить одновременные измерения на нескольких длинах волн и обеспечивает новые диагностические возможности анализа поверхности слоев. Под аналитическими функциями, по совокупности которых установка не имеет мировых аналогов, имеются в виду такие методики исследований, как рефлектометрия, дифрактометрия, рефрактометрия, малоугловое рассеяние, рентгено-флуоресцентный анализ и др. Из-за совмещения большого количества методик исследований в одной установке система и называется минилабораторией. При этом количество необходимых аналитических функций определяется конкретно под каждого заказчика в соответствии с его задачами и потребностями.
Родоначальником идеи является Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН в лице специалистов ФИАН - доктора физ.-мат. наук Александра Турьянского (руководитель проекта), доктора физ.-мат. наук Александра Виноградова и кандидата технических наук Игоря Пиршина. В начале 2000-х годов эти фиановские физики запатентовали разработанную ими измерительную схему двухволнового рефлектометра и создали экспериментальный макет установки (на котором работают до сих пор). Идея была коммерциализована с помощью сотрудников Института рентгеновской оптики.
Создан многоволновой рентгеновский рефлектор для диагностики наноструктур
Совместный проект специалистов Физического института им. П. Н. Лебедева РАН (ФИАН) и ООО «Институт рентгеновской оптики» (ИРО)
Источник:
АНИ "ФИАН-информ"
Комментировать